华海清科9月9日宣布，其自主研发的全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX近日顺利出机，已发往先进封装产线投入量产应用。该装备是国内首台进入量产线的全自动板级CMP装备。
华海清科表示，此次出机标志着我国板级封装核心工艺装备实现了从研发到应用的关键跨越，为先进封装产业的自主发展提供了重要支撑。
此次出机的Master-P510APEX针对大尺寸板级封装的工艺特点进行了系统性设计，具备优异的全板面均匀性与平坦化控制能力，可满足低缺陷抛光要求，并通过智能终点检测与自动化控制实现多种工艺模式的灵活切换，为先进封装产线提供高一致性、高良率的规模化量产支持。